Axetris proporciona medidores de flujo másico (MFM), controles (MFC) y colectores OEM para contaminantes de valor excepcional para el cliente. Las tecnologías patentadas de chips MEMS basados en platino garantizan una precisión y repetibilidad excepcionales junto con una mayor velocidad y una selección dinámica ampliada. Los beneficios de estas tecnologías MEMS basadas en platino, junto con el procesamiento de aplicaciones inteligentes y un empaque poderoso, hacen que los medidores de flujo másico y controles Axetris sean una selección perfecta para aplicaciones OEM exigentes. Los atributos clave incluyen:
Excelente reproducibilidad: repetibilidad MFM +/- 0,01 % FS y repetibilidad MFC +/- 0,015 % FS, junto con estabilidad a largo plazo para eliminar la necesidad de volver a calibrar
Tiempo de reacción rápido: tiempo de respuesta MFM de 4 ms y menos de 150 ms a una condición estable para control en tiempo real de fugas de gas
Rango dinámico inigualable: relación de reducción de más de 1000:1 para lograr la flexibilidad del producto y reducir las variantes de control
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